Product detail
Přípravek pro depozice materiálů z pevné fáze na Si substrát
PEKÁREK, J. MAGÁT, M.
Product type
funkční vzorek
Abstract
Přípravek pro depozice materiálů z pevné fáze na Si substrát. Díky široké škále šablon je možné na křemíkové substráty napařovat či naprašovat různé typy materiálů (Fe, Au, Ti, Al, Ta, NiCr a další) různých tvarů.
Keywords
Napařování, naprašování, depozice, Si substrát
Create date
10.04.2012
Location
Laboratoř T10-N0.67
www