Product detail

Přípravek pro depozice materiálů z pevné fáze na Si substrát

PEKÁREK, J. MAGÁT, M.

Product type

funkční vzorek

Abstract

Přípravek pro depozice materiálů z pevné fáze na Si substrát. Díky široké škále šablon je možné na křemíkové substráty napařovat či naprašovat různé typy materiálů (Fe, Au, Ti, Al, Ta, NiCr a další) různých tvarů.

Keywords

Napařování, naprašování, depozice, Si substrát

Create date

10.04.2012

Location

Laboratoř T10-N0.67

www