Product detail

Pole TiO2 nanosloupků pro senzorické aplikace

SOLOVEI, D. PYTLÍČEK, Z. BENDOVÁ, M. HUBÁLEK, J.

Product type

funkční vzorek

Abstract

Senzor plynů je založený na TiO2 nanostrukturách. Na povrchu TiO2 vrstvy se nachází uspořádaná struktura TiO2 nanosloupků o délce v rozmezí 120–400 nm v závislosti na parametrech anodizace. Takto modifikovaný povrch vykazuje vysoké citlivosti v detekci plynů díky zvýšenému povrchu rekogničního převodníku oproti planárnímu nestrukturovanému povrchu. Následující SEM obrázky zobrazují citlivou vrstvu shora a pod úhlem přibližně 45 stupňů. Uvedené snímky odpovídají struktuře o délce 120–170 nm, šířce 35–70 nm a jejich vzájemné vzdálenosti 110 nm, vyrobených anodickou oxidací přes samouspořádanou masku Al2O3.

Keywords

senzor plynů, nanostrukturovaný TiO2 povrch, TiO2 nanosloupky, anodická oxidace

Create date

30.11.2012

Location

LabSensNano T10-N0.66

www