Product detail

Krystalický solární článek s pasivací zadní strany napařovanou vrstou Al2O3

HÉGR, O. BAŘINKA, R.

Product type

funkční vzorek

Abstract

Cílem sestavení funkčního vzorku bylo vyloučení technologického procesu vysokoteplotní pasivace metodou LPCVD (850 st.C) a nahrazení tohoto kroku technologií magnetronového naprašování při nízkých teplotách (cca. 100 st.C). Jako materiál pro reaktivní depozici vybraných vrstev byl zvolen nitrid hliníku AlN. Tenké vrstvy byly deponovány na přední stranu článků. Po zhotovení solárního článku byly měřeny jeho výstupní parametry a srovnávány se standardní technologií. Bylo prokázáno, že zjištěné hodnoty zejména účinnosti a fill faktoru byly srovnatelné s technologií LPCVD. Ve srovnání se tedy ukázalo, že je možné odstranit vysokoteplotní procesy bez výrazného poklesu žádaných výstupních parametrů.

Keywords

oxid hliníku, pasivace zadní strany

Create date

20.09.2011

Location

Ústav mikroelektroniky, Laboratoř analogových obvodů a mikroelektronických technologií - 5.25