Product detail

Hrotové zařízení pro lokální depozice a měření na čipu

HRDÝ, R. HUBÁLEK, J.

Product type

funkční vzorek

Abstract

Přípravek umožňuje po připojení k zdroji kontaktovat a provádět lokální elektrodepozice přímo na křemíkových substrátrech nebo čipech a tak modifikovat vymezenou oblast. Dále umožňuje v kombinaci se Autolabem firmy MethroOhm provádět měření přímo v modifikované oblasti.

Keywords

Hrotové měření, lokální depozice, křemíkový substrát

Create date

23.12.2011

Location

Laboratoř 0.66 UMEL, VUT, Technická 10, Brno

www