Product detail
Hrotové zařízení pro lokální depozice a měření na čipu
HRDÝ, R. HUBÁLEK, J.
Product type
funkční vzorek
Abstract
Přípravek umožňuje po připojení k zdroji kontaktovat a provádět lokální elektrodepozice přímo na křemíkových substrátrech nebo čipech a tak modifikovat vymezenou oblast. Dále umožňuje v kombinaci se Autolabem firmy MethroOhm provádět měření přímo v modifikované oblasti.
Keywords
Hrotové měření, lokální depozice, křemíkový substrát
Create date
23.12.2011
Location
Laboratoř 0.66 UMEL, VUT, Technická 10, Brno
www