Product detail

Wienův filtr - zařízení pro hmotnostní selekci iontových svazků

VOBORNÝ, S. POKORNÝ, J. JÁNSKÝ, P. ŠIKOLA, T.

Product type

funkční vzorek

Abstract

Zařízení sestává z elektromagnetického obvodu, který uvnitř vakuové trubice, umístěné na dráze iotového svazku, vytváří zkřížené homogenní elektrické a magnetické pole. Vhodným nastavením intenzity elektrického pole a magnetického pole permanentního magnetu lze separovat nežádoucí nečistoty z iontového svazku (především kyslík a uhlík). Zařízení lze provozovat na plovoucím potenciálu. Napětí na elektrodách je řízeno počítačem pomocí vlastního software.

Keywords

hmotnostní filtr, hmotnostní separace, iontové svazky, nečistoty, tenké vrstvy

Create date

01.12.2008

Location

A2/518

www

Documents