Publication detail

Technologie výroby Schottkyho emisních katod zdokonalenou metodou elektrolytického leptání

Original Title

Technologie výroby Schottkyho emisních katod zdokonalenou metodou elektrolytického leptání

Czech Title

Technologie výroby Schottkyho emisních katod zdokonalenou metodou elektrolytického leptání

Language

cs

Original Abstract

Příspěvek se zabývá metodou automatizované výroby Schottkyho katod pro potřeby elektronové mikroskopie. Mezi jednotlivými elektronovými zdroji začínají v poslední době převládat právě katody založené na principu Schottkyho emise. Především se jedná o SEM (rastrovací elektronovou mikroskopii), TEM (transmisní elektronovou mikroskopii), Augerovy systémy a o systémy pro diagnostiku v polovodičovém průmyslu. Nároky na parametry přístrojů stále narůstají, z čehož přirozeně vyplývá i potřeba kvalitního elektronového zdroje o malé velikosti, nízké energii rozptýlených elektronů, vysoké svítivosti, s nízký šumem, dlouhodobě teplotně stabilního a především s nízkými provozními náklady. Dosud byly za účelem zlepšení spolehlivosti přípravy implementovány mnohé technické modifikace související s výrobou a úpravou hrotů katod. Široce používané elektrochemické leptání metodou "drop-off" bylo dále zdokonaleno, aby umožnilo reprodukovatelnou výrobu hrotů o poloměru v řádech desítek nm.

Czech abstract

Příspěvek se zabývá metodou automatizované výroby Schottkyho katod pro potřeby elektronové mikroskopie. Mezi jednotlivými elektronovými zdroji začínají v poslední době převládat právě katody založené na principu Schottkyho emise. Především se jedná o SEM (rastrovací elektronovou mikroskopii), TEM (transmisní elektronovou mikroskopii), Augerovy systémy a o systémy pro diagnostiku v polovodičovém průmyslu. Nároky na parametry přístrojů stále narůstají, z čehož přirozeně vyplývá i potřeba kvalitního elektronového zdroje o malé velikosti, nízké energii rozptýlených elektronů, vysoké svítivosti, s nízký šumem, dlouhodobě teplotně stabilního a především s nízkými provozními náklady. Dosud byly za účelem zlepšení spolehlivosti přípravy implementovány mnohé technické modifikace související s výrobou a úpravou hrotů katod. Široce používané elektrochemické leptání metodou "drop-off" bylo dále zdokonaleno, aby umožnilo reprodukovatelnou výrobu hrotů o poloměru v řádech desítek nm.

BibTex


@article{BUT47538,
  author="Alexandr {Knápek} and Petr {Paračka} and Miloš {Chvátal}",
  title="Technologie výroby Schottkyho emisních katod zdokonalenou metodou elektrolytického leptání",
  annote="Příspěvek se zabývá metodou automatizované výroby Schottkyho katod pro potřeby elektronové mikroskopie. Mezi jednotlivými elektronovými zdroji začínají v poslední době převládat právě katody založené na principu Schottkyho emise. Především se jedná o SEM (rastrovací elektronovou mikroskopii), TEM (transmisní elektronovou mikroskopii), Augerovy systémy a o systémy pro diagnostiku v polovodičovém průmyslu. Nároky na parametry přístrojů stále narůstají, z čehož přirozeně vyplývá i potřeba kvalitního elektronového zdroje o malé velikosti, nízké energii rozptýlených elektronů, vysoké svítivosti, s nízký šumem, dlouhodobě teplotně stabilního a především s nízkými provozními náklady. Dosud byly za účelem zlepšení spolehlivosti přípravy implementovány mnohé technické modifikace související s výrobou a úpravou hrotů katod. Široce používané elektrochemické leptání metodou "drop-off" bylo dále zdokonaleno, aby umožnilo reprodukovatelnou výrobu hrotů o poloměru v řádech desítek nm.",
  address="Fyzikální ústav Akademie věd České republiky",
  chapter="47538",
  institution="Fyzikální ústav Akademie věd České republiky",
  journal="Jemná mechanika a optika",
  number="5",
  volume="55",
  year="2010",
  month="june",
  pages="139--141",
  publisher="Fyzikální ústav Akademie věd České republiky",
  type="journal article"
}