Publication detail

Systém pro měření homogenity optických vlastností tenkých vrstev

URBÁNEK, M., SPOUSTA, J., NAVRÁTIL, K., BUČEK, M., NEUGEBAUER, P., ŠIKOLA, T.

Original Title

Systém pro měření homogenity optických vlastností tenkých vrstev

English Title

System for measuring of unhomogenity of optical parameters of thin films.

Type

journal article - other

Language

Czech

Original Abstract

Popis zařízení pro měření plošné homogenity tenkých vrstev.

English abstract

Description of device for measuring surface homogenity of thin films.

Key words in English

thin films, optical reflection, interferometry

Authors

URBÁNEK, M., SPOUSTA, J., NAVRÁTIL, K., BUČEK, M., NEUGEBAUER, P., ŠIKOLA, T.

RIV year

2003

Released

1. 6. 2003

ISBN

0447-6411

Year of study

48

Number

6

Pages from

163

Pages to

165

Pages count

3

BibTex

@article{BUT41943,
  author="Michal {Urbánek} and Jiří {Spousta} and Karel {Navrátil} and Miroslav {Buček} and Petr {Neugebauer} and Tomáš {Šikola}",
  title="Systém pro měření homogenity optických vlastností tenkých vrstev",
  year="2003",
  volume="48",
  number="6",
  pages="3",
  issn="0447-6411"
}