Publication detail

Počítačová simulace přímého tunelování hradlovými oxidy

RECMAN, M.

Original Title

Počítačová simulace přímého tunelování hradlovými oxidy

English Title

Computer simulation of direct tunneling through gate oxides

Type

conference paper

Language

Czech

Original Abstract

Se zmenšující se délkou kanálu tranzistorů NMOS se zmenšuje tloušťka hradlového oxidu a dominantní složkou proudu hradlem se stává přímé tunelování nosičů z kanálu a SDE(source-drain extensions) do polykrystalického hradla. Příspěvek se zabývá TCAD simulací tohoto tunelového proudu v NMOSFET strukturách s tloušťkou oxidu menší než 20 A. S použitím programů DIOS a MDRAW je vytvořena dvoudimenzionální struktura tranzistoru NMOS. DESSIS počítá složku hradlového proudu odpovídající přímému tunelování přes hradlový oxid a program INSPECT generuje a srovnává simulované A-V charakteristiky pro 7 jednotlivých simulací. Všechny experimenty jsou prováděny v grafickém prostředí GENESISe.

English abstract

english description

Keywords

Strukturní simulace, Elektrická simulace, Identifikace parametrů, Modelování polovodičových struktur, Extrakce parametrů, 2D, Prahové napětí, Podprahový proud, Jevy krátkého kanálu, MOSFET, Hradlový proud, Přímé tunelování,

Key words in English

Device simulation,

Authors

RECMAN, M.

RIV year

2007

Released

1. 1. 2007

Publisher

Nakl. Novotný

Location

Brno

ISBN

978-80-214-3534-6

Book

MIKROSYN. Nové trendy v mikroelektronických systémech a nanotechnologiích.. Seminář o výsledcích výzkumného záměru MSM 0021630503 v roce 2007. Sborník příspěvků. Nakl. Novotný, Brno 2007

Pages from

51

Pages to

55

Pages count

5

BibTex

@inproceedings{BUT25397,
  author="Milan {Recman}",
  title="Počítačová simulace přímého tunelování hradlovými oxidy",
  booktitle="MIKROSYN. Nové trendy v mikroelektronických systémech a nanotechnologiích.. Seminář o výsledcích výzkumného záměru MSM 0021630503 v roce 2007. Sborník příspěvků. Nakl. Novotný, Brno 2007",
  year="2007",
  pages="5",
  publisher="Nakl. Novotný",
  address="Brno",
  isbn="978-80-214-3534-6"
}