Publication detail

Vliv rozkladných produktů fluoridu sírového na tenké vodivé vrstvy

VRBICKÝ, J. SEDLAŘÍKOVÁ, M. VONDRÁK, J.

Original Title

Vliv rozkladných produktů fluoridu sírového na tenké vodivé vrstvy

English Title

The effect of sulfur hexafluoride decomposition products on thin film coating

Type

conference paper

Language

Czech

Original Abstract

This article describes the effect of the decomposition products formed from sulphur hexafluoride on thin film coating. Dependence of electrical characteristics of thin film coatings on quantity of inpurities contained in gas decoposed by sparks and refresh abilities of thin film coating is described.

Key words in English

Sulfur hexafluoride, thin film coating, decomposition products

Authors

VRBICKÝ, J.; SEDLAŘÍKOVÁ, M.; VONDRÁK, J.

RIV year

2006

Released

1. 11. 2006

Publisher

Západočeská univerzita v Plzni

Location

Plzeň

ISBN

80-7043-473-2

Book

Elektrotechnika a informatika 2006, cast druha- Elektronika

Edition number

1

Pages from

111

Pages to

114

Pages count

4

BibTex

@inproceedings{BUT24361,
  author="Jiří {Vrbický} and Marie {Sedlaříková} and Jiří {Vondrák}",
  title="Vliv rozkladných produktů fluoridu sírového na tenké vodivé vrstvy",
  booktitle="Elektrotechnika a informatika 2006, cast druha- Elektronika",
  year="2006",
  number="1",
  pages="111--114",
  publisher="Západočeská univerzita v Plzni",
  address="Plzeň",
  isbn="80-7043-473-2"
}