Publication detail

Pasivační vrstvy solárních článků vytvářené reaktivním magnetronovým naprašováním

Original Title

Pasivační vrstvy solárních článků vytvářené reaktivním magnetronovým naprašováním

Czech Title

Pasivační vrstvy solárních článků vytvářené reaktivním magnetronovým naprašováním

Language

cs

Original Abstract

Depozice antireflexní a pasivační vrstvy patří k jednomu z nejdůležitějších kroků při výrobě fotovoltaických článků. Vytváří antireflexní vrstvu, která zabraňuje pronikání nežádoucích složek světelného záření do substrátu. Pasivace také redukuje poruchy na křemíkovém povrchu a tím ovlivňuje výsledné rekombinačí parametry celého článku. V současném fotovoltaickém průmyslu je pro povrchovou pasivaci nejpoužívanějším materiálem plasmaticky nanášený nitrid křemíku (SiNx). V naší práci se zabýváme depozicí různých typů pasivačních vrstev na zadní strany budoucích solárních článků (SiNx, Si3N4, SiO2, Al2O3 a AlN) pomocí reaktivního magnetronového naprašování.. Pasivační vrstvy se deponují v plazmochemickém prostředí působením procesních plynů. Systém je charakteristický nízkým tlakem reakčních směsí a poměrně nízkými depozičními teplotami (do 200°C). Cílem práce je charakterizace vyrobených křemíkových solárních článků s naprášenými vrstvami přesně definovaných tlouštěk. Vrstvy jsou nanášeny na c-Si desky s různě upravenými povrchy. Sledujeme elektrické a optické parametry desek a porovnáváme je se sériově vyráběnými články společnosti Solartec s.r.o.

Czech abstract

Depozice antireflexní a pasivační vrstvy patří k jednomu z nejdůležitějších kroků při výrobě fotovoltaických článků. Vytváří antireflexní vrstvu, která zabraňuje pronikání nežádoucích složek světelného záření do substrátu. Pasivace také redukuje poruchy na křemíkovém povrchu a tím ovlivňuje výsledné rekombinačí parametry celého článku. V současném fotovoltaickém průmyslu je pro povrchovou pasivaci nejpoužívanějším materiálem plasmaticky nanášený nitrid křemíku (SiNx). V naší práci se zabýváme depozicí různých typů pasivačních vrstev na zadní strany budoucích solárních článků (SiNx, Si3N4, SiO2, Al2O3 a AlN) pomocí reaktivního magnetronového naprašování.. Pasivační vrstvy se deponují v plazmochemickém prostředí působením procesních plynů. Systém je charakteristický nízkým tlakem reakčních směsí a poměrně nízkými depozičními teplotami (do 200°C). Cílem práce je charakterizace vyrobených křemíkových solárních článků s naprášenými vrstvami přesně definovaných tlouštěk. Vrstvy jsou nanášeny na c-Si desky s různě upravenými povrchy. Sledujeme elektrické a optické parametry desek a porovnáváme je se sériově vyráběnými články společnosti Solartec s.r.o.

BibTex


@inproceedings{BUT19809,
  author="Ondřej {Hégr} and Jaroslav {Boušek} and Jaroslav {Sobota} and Radim {Bařinka} and Aleš {Poruba}",
  title="Pasivační vrstvy solárních článků vytvářené reaktivním magnetronovým naprašováním",
  annote="Depozice antireflexní a pasivační vrstvy patří k jednomu z nejdůležitějších kroků při výrobě fotovoltaických článků. Vytváří antireflexní vrstvu, která zabraňuje pronikání nežádoucích složek světelného záření do substrátu. Pasivace také redukuje poruchy na křemíkovém povrchu a tím ovlivňuje výsledné rekombinačí parametry celého článku. V současném fotovoltaickém průmyslu je pro povrchovou pasivaci nejpoužívanějším materiálem plasmaticky nanášený nitrid křemíku (SiNx).
V naší práci se zabýváme depozicí různých typů pasivačních vrstev na zadní strany budoucích solárních článků (SiNx, Si3N4, SiO2, Al2O3 a AlN) pomocí reaktivního magnetronového naprašování.. Pasivační vrstvy se deponují v plazmochemickém prostředí působením procesních plynů. Systém je charakteristický nízkým tlakem reakčních směsí a poměrně nízkými depozičními teplotami (do 200°C).
Cílem práce je charakterizace vyrobených křemíkových solárních článků s naprášenými vrstvami přesně definovaných tlouštěk. Vrstvy jsou nanášeny na c-Si desky s různě upravenými povrchy. Sledujeme elektrické a optické parametry desek a porovnáváme je se sériově vyráběnými články společnosti Solartec s.r.o.",
  address="Czech RE Agency",
  booktitle="2.česká fotovoltaická konference",
  chapter="19809",
  institution="Czech RE Agency",
  number="1",
  year="2006",
  month="june",
  pages="1",
  publisher="Czech RE Agency",
  type="conference paper"
}