Pasivační vrstvy solárních článků vytvářené reaktivním magnetronovým naprašováním

Passivation layers of solar cells by means of reactive magnetron sputtering created

conference paper

Czech

Depozice antireflexní a pasivační vrstvy patří k jednomu z nejdůležitějších kroků při výrobě fotovoltaických článků. Vytváří antireflexní vrstvu, která zabraňuje pronikání nežádoucích složek světelného záření do substrátu. Pasivace také redukuje poruchy na křemíkovém povrchu a tím ovlivňuje výsledné rekombinačí parametry celého článku. V současném fotovoltaickém průmyslu je pro povrchovou pasivaci nejpoužívanějším materiálem plasmaticky nanášený nitrid křemíku (SiNx). V naší práci se zabýváme depozicí různých typů pasivačních vrstev na zadní strany budoucích solárních článků (SiNx, Si3N4, SiO2, Al2O3 a AlN) pomocí reaktivního magnetronového naprašování.. Pasivační vrstvy se deponují v plazmochemickém prostředí působením procesních plynů. Systém je charakteristický nízkým tlakem reakčních směsí a poměrně nízkými depozičními teplotami (do 200°C). Cílem práce je charakterizace vyrobených křemíkových solárních článků s naprášenými vrstvami přesně definovaných tlouštěk. Vrstvy jsou nanášeny na c-Si desky s různě upravenými povrchy. Sledujeme elektrické a optické parametry desek a porovnáváme je se sériově vyráběnými články společnosti Solartec s.r.o.

Antireflection and passivation coating deposition is one of most important steps of photovoltaic cells production. The antireflection coating averting of light undesirable component penetrate in the silicon substrate. Passivation layer reduce defect on the silicon surface and the recombination parameters are improve. Present, for photovoltaic industry is silicon nitride the most of materials used. In our work we deal with deposition of variously type passivation layers (SiNx, Si3N4, SiO2, Al2O3 and AlN) on the back side of silicon solar cells by means of reactive magnetron sputtering.

magnetronové naprašování, pasivační vrstva, solární články

magnetron sputtering, passivation, solar cells

Ondrej Hégr, Jaroslav Bousek, Jaroslav Sobota, Radim Bařinka, Aleš Poruba

2006

30. 6. 2006

Czech RE Agency

Rožnov pod Radhoštěm

80–239–7361–4

2.česká fotovoltaická konference

1

1

3

3