Product detail

100 pixelový MEMS s bolometry

NEUŽIL, P. PEKÁREK, J. SVATOŠ, V. GABLECH, I.

Product type

funkční vzorek

Abstract

Design řádkového detektoru pro snímání IR záření byl vytvořen pomocí skriptovacího kódu v NanoLithography Toolbox. Ukázka designu je zobrazena na obrázku níže vlevo. Bylo vytvořeno 100 měřicích bolometrů (pixelů) a 10 referenčních. Membrány bolometru (jednotlivé pixely) slouží pro detekci IR záření a jsou vyrobeny na křemíkovém substrátu pomocí CMOS kompatibilních procesů. Nejdůležitější snímací část je tvořena z membrány (SiO2), uvnitř které je integrován odporový meandr (Ti). Při dopadu IR záření na snímací element dojde k jeho ohřátí, a to vyvolá změnu odporu. Tepelné ztráty do substrátu jsou minimalizovány díky tenkým nohám, na kterých je membrána zavěšena (viz snímek z optického mikroskopu vpravo).

Keywords

Bolometr, řádek, 100 pixelů, IR záření

Create date

10.10.2017

Location

Laboratoř 0.67 UMEL, VUT, Technická 10, Brno

www

Documents