Publication detail

Rastrovací elektronová mikroskopie pomalými a Augerovými elektrony

HRNČIŘÍK, P.

Original Title

Rastrovací elektronová mikroskopie pomalými a Augerovými elektrony

English Title

Scanning electron microscopy with slow and Auger electrons

Type

conference paper

Language

Czech

Original Abstract

Hlavním cílem práce je in situ srovnání signálů v pomalých a Augerových elektronech v rastrovacím elektronovém mikroskopu. Součástí práce je dokončení experimentálního zařízení, provedení simulací a výpočtů jeho vlastností a interpretace získaných obrazových dat.

English abstract

Main goal of the work is in-situ comparison of signals in slow and Auger electrons in Scanning Electron Microscope. Construction of experimental device, computer simulations and calculations of properties of the device and interpretation of getting data are parts of the work.

Key words in English

slow electrons, Auger electrons, UHV

Authors

HRNČIŘÍK, P.

Released

1. 1. 2004

Publisher

Ústav přístrojové techniky AV ČR

Location

Brno

ISBN

80-239-2268-8

Book

PDS 2003

Pages from

23

Pages to

26

Pages count

4

BibTex

@inproceedings{BUT14055,
  author="Petr {Hrnčiřík}",
  title="Rastrovací elektronová mikroskopie pomalými a Augerovými elektrony",
  booktitle="PDS 2003",
  year="2004",
  pages="4",
  publisher="Ústav přístrojové techniky AV ČR",
  address="Brno",
  isbn="80-239-2268-8"
}