Product detail

Vícecestný kapalinový ventil

HRDÝ, R. ŽÁK, J. HUBÁLEK, J.

Product type

funkční vzorek

Abstract

Vícecestný kapalinový ventil určen pro výrobní postupy vyžadující časté střídání procesních kapalin například v mikroelektronice a elektrochemi a MEMS technologiích. Je konstruován se zvýšenou chemickou odolností na bázi teflonových a silikových prvků s kapaciou až 22 vstupních portů. Ventil pracuje na principu karuselového selektroru se servomotorem řízeným pomocí elektromagneického čidla s přesnotí 10um.

Keywords

ventil, elektrochemie, nanostruktury, depozice, chemická odolnost

Create date

1. 12. 2016

Location

Laboratoře LabSenNano. N0.66, Technická 10, Brno

Possibilities of use

K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence

Licence fee

Poskytovatel licence na výsledek požaduje licenční poplatek

www