Publication detail

Rentgenová počítačová tomografie elektronické vrstvy snímače otáček

DVOŘÁK, J. ZIKMUND, T. KOUŘIL, J. GEJDOŠ, P. KAISER, J.

Original Title

Rentgenová počítačová tomografie elektronické vrstvy snímače otáček

English Title

X-ray computed tomography of electronic layer of speed sensor

Type

journal article - other

Language

Czech

Original Abstract

Článek prezentuje schopnosti rentgenové počítačové tomografie pro zobrazení vnitřní struktury elektronických součástek. tomografická inspece byla provedena na snímači otáček fungujícího na principu Hallovy sondy, ve kterém byla zkoumána elektronická vrstva o tloušťce v řádu jednotek mikrometrů. Za účelem zobrazení této vrstvy byl použit unikátní nano-CT systém a nejmodernější průmyslový mikro-CT systém. Proveditelnost tomorafického měření s vysokým rozlišením ukazuje požadavky na úpravu vzorku pro takové analýzy a výsledky demnostrují rozlišovací schopnosti obou systémů.

English abstract

The article presents abilities of X-ray computed tomography to display internal structure of the electronic components. Tomographic measurements were performed on the speed sensor which operates on the principal of Hall probes. Examined layer with electronics inside the sensor had a thickness in the order of micrometers. Special nanoCT adn the latest industrial micro-CT system was used for visualisation of this layer. Feasibility of tomographic measurements with high resolution shows the requirements for preparation of a sample for such analyzes and the results which demonstrate the resolution of both system.

Keywords

Rentgenová počítačová tomografie, mikroCT, nanoCT, snímače otáček

Key words in English

x-ray computed tomography, microCT, nanoCT, speed sensor

Authors

DVOŘÁK, J.; ZIKMUND, T.; KOUŘIL, J.; GEJDOŠ, P.; KAISER, J.

Released

1. 6. 2016

Publisher

Fyzikální ústav Akademie věd České republiky

ISBN

0447-6441

Periodical

Jemná mechanika a optika

Year of study

61

Number

6

State

Czech Republic

Pages from

165

Pages to

168

Pages count

4

BibTex

@article{BUT130303,
  author="Jindřich {Dospiva} and Tomáš {Zikmund} and Jiří {Kouřil} and Pavel {Gejdoš} and Jozef {Kaiser}",
  title="Rentgenová počítačová tomografie elektronické vrstvy snímače otáček",
  journal="Jemná mechanika a optika",
  year="2016",
  volume="61",
  number="6",
  pages="165--168",
  issn="0447-6441"
}