Publication detail

Tvorba plazmonických nanostruktur na elektricky nevodivých substrátech pomocí elektronové litografie

BABOCKÝ, J. BOK, J. ŠIKOLA, T. FIALA, J.

Original Title

Tvorba plazmonických nanostruktur na elektricky nevodivých substrátech pomocí elektronové litografie

English Title

Fabrication of plasmonic nanostructures on non-conductive substrates using variable pressure electron beam lithography

Type

journal article - other

Language

Czech

Original Abstract

Výroba plasmonických nanoantén s rezonančními frekvencemi ve viditelné oblasti pomocí elektronové litografie mnohdy přináší nutnost expozice nevodivých substrátů. Tato práce je zaměřena na porovnání výsledků dosažitelných konvenčním přístupem za použití vodivých polymerů a alternativního postupu v podobě litografie za variabilního tlaku (VP-EBL). Dále je testována stabilita VP-EBL procesu pro dlouhodobé expozice.

English abstract

Fabrication of plasmonic nanoantennas with resonance frequencies in visible range is often challenging due to the necessity of exposure of non-conductive substrates. This work is focussed in comparism of conventionl fabrication approach using conductive polymer layers and alternative variable pressure electron beam lithography (VP-EBL) method. We have also studied the stability of VP-EBL process for long exposures.

Keywords

plasmonika, plasmonické antény, elektronová litografie, elektronová mikroskopie nevodivých vzorků, spektroskopie

Key words in English

plasmonics, plasmonic nanoantennas, electron beam lithography, scanning electron microscopy of non-conductive samples, spectroscopy

Authors

BABOCKÝ, J.; BOK, J.; ŠIKOLA, T.; FIALA, J.

Released

1. 6. 2016

ISBN

0447-6441

Periodical

Jemná mechanika a optika

Year of study

61

Number

6

State

Czech Republic

Pages from

157

Pages to

159

Pages count

3

BibTex

@article{BUT128331,
  author="Jiří {Babocký} and Jan {Bok} and Tomáš {Šikola} and Jiří {Fiala}",
  title="Tvorba plazmonických nanostruktur na elektricky nevodivých substrátech pomocí elektronové litografie",
  journal="Jemná mechanika a optika",
  year="2016",
  volume="61",
  number="6",
  pages="157--159",
  issn="0447-6441"
}