Patent detail

Mechanické uchycení měřící hlavy rastrovacích mikroskopů

NEUMAN, J. NOVÁČEK, Z. PAVERA, M. WERTHEIMER, P. ŠULC, D. ŠIKOLA, T.

Patent type

Utility model

Abstract

Hlava mikroskopu tvaru písmene U je uložena na třech dosedacích kuličkách. Ty jsou v bodovém kontaktu se základovou rovinou mikroskopu, po které se může hlava volně pohybovat. Pohyb je umožněn pomocí makroposuvů, se kterými je hlava propojena pomocí tenké kovové planžety. Planžeta je dokonale tuhá v horizontálních osách, ve kterých je pohyb přesně definovaný. Ve vertikální ose je planžeta pružná. Přenos vibrací mezi motory a hlavou mikroskopu je díky pružnému spojení ve vertikální ose omezen. Hlava mikroskopu je z důvodu zvýšení celkové tuhosti předepjata vůči rámu mikroskopu pomocí dvou kuliček.

Keywords

AFM, SPM, hlava

Patent number

29357

Date of application

18. 2. 2016

Date of registration

12. 4. 2016

Owner

Vysoké učení technické v Brně

Possibilities of use

In order to use the result by another entity, it is always necessary to acquire a license

Licence fee

The licensor requires a license fee for the result