Product detail

Vakuová LPCVD komora pro lokální depozici přímo na čipu s možností „in situ“ monitorování růstu vrstev pod optickým mikroskopem

SEDLÁČEK, J. GABLECH, I. SVATOŠ, V.

Product type

funkční vzorek

Abstract

Jedná se o duralovou komoru pro LPCVD depozice materiálů na lokálně vyhřívaných membránách realizovaných na křemíkovém čipu. Ve víku komory je zasklený otvor umožňující „in situ“ pozorování růstu vrstvy pod optickým mikroskopem. Čip se do komory vkládá na korundové keramice (případně LTCC), na kterou je zasazen v zapájené patici nebo je na ni přímo nabondován.

Keywords

LPCVD, depozice, čip, komora

Create date

17. 7. 2015

Location

LabSensNano T10-N0.66

Possibilities of use

K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence

Licence fee

Poskytovatel licence na výsledek nepožaduje licenční poplatek

www

http://www.umel.feec.vutbr.cz/LabSensNano/products.aspx?id=110