Product detail

MEMS jazýčkový rezonátor pro senzorické aplikace

GABLECH, I. PRÁŠEK, J.

Product type

funkční vzorek

Abstract

Jedná se o MEMS gravimetrický převodník tvořený piezoelektrickým nosníkovým rezonátorem buzeným střídavým napětím na jeho resonanční kmitočet. Piezoelektrikum je tvořeno tenkou vrstvou nitridu hlinitého (AlN). Rozměry jazýčků vytvořených na křemíkovém substrátu s SiO2 pasivační vrstvou jsou 200 x 800 um. Spodní elektrodu tvoří vhodně orientovaná vrstva titanu. Vrchní elektroda je tvořena zlatem. Citlivá vrstva se nanáší na konec jazýčku. Pro detekci plynů, vlhkosti, apod. lze například použít různé polymerní materiály nebo oxidy kovů.

Keywords

MEMS, gravimetrický senzor, jazýčkový rezonátor

Create date

06.05.2015

Location

LabSensNano T10-N0.66

www

Documents