Patent detail

Způsob depozice mikroelektrod čipů, rozmístěných na desce, pomocí chemických roztoků a zařízení k provádění tohoto způsobu

HUBÁLEK, J.

Patent type

Patent

Abstract

Způsob depozice mikroelektrod čipů, rozmístěných na desce, pomocí chemických roztoků, spočívá v tom, že se deska upevní na stůl polohovacího zařízení opatřeného aplikační hubicí, která se zavede nad zvolenou elektrodu prvního čipu, přitlačí se k desce, následně se do hubice přivádí depoziční roztok, který působí na zvolenou elektrodu, a průběžně se z hubice odvádí. Po zastavení přívodu depozičního roztoku do hubice a odsátí zbytkového roztoku se hubice zvedne a přemístí nad další elektrodu sousedního čipu a postup se opakuje.

Keywords

mikroelektrody, nanostruktury, pole, postprocesing

Patent number

305166

Date of registration

15.04.2015

Owner

Vysoké učení technické v Brně

www

Documents