Publication detail

Kalibrace vychylovacího pole litografu řady BS600 využitím režimu REM

DANĚK, L.

Original Title

Kalibrace vychylovacího pole litografu řady BS600 využitím režimu REM

English Title

Calibration of the deflection field of the E-beam lithograph BS600 series using SEM mode

Type

conference paper

Language

Czech

Original Abstract

Text se zabývá kalibrací vychylovacího pole litografu BS600 a BS601 upraveného v rámci projektu Elito s využitím režimu rastrovacího elektronového mikroskopu.

English abstract

Text describes a new method for the calibration of geometric distortion of deflection field. This method uses a regime of scanning electron microscope (SEM), which was added to electron beam lithographs BS600 and BS601 in project ELITO. The main advantage of this method was the reduction of the time required to calibrate the lithograph.

Key words in English

E-beam Lithography

Authors

DANĚK, L.

RIV year

2004

Released

30. 1. 2004

Publisher

Ústav přístrojové techniky AV ČR, Brno

Location

Brno

ISBN

80-239-2268-8

Book

Sborník prací doktorandů prezentovaných na Semináři oddělení Elektronové optiky na počátku roku 2004

Pages from

15

Pages to

18

Pages count

4

BibTex

@inproceedings{BUT11253,
  author="Lukáš {Daněk}",
  title="Kalibrace vychylovacího pole litografu řady BS600 využitím režimu REM",
  booktitle="Sborník prací doktorandů prezentovaných na Semináři oddělení Elektronové optiky na počátku roku 2004",
  year="2004",
  pages="4",
  publisher="Ústav přístrojové techniky AV ČR, Brno",
  address="Brno",
  isbn="80-239-2268-8"
}