Product detail

Rezonanční membrána vyrobená z nitridu křemíku pro snímání akustických vln

SVATOŠ, V. PEKÁREK, J. ŽÁK, J. PRÁŠEK, J. HUBÁLEK, J.

Product type

funkční vzorek

Abstract

Rezonanční membrána vyrobená z tenké membrány nitride křemíku s elektrodou z chrom-niklu je používaná pro detekci akustických vln o určité frekvenci. Křemíková struktura je vyrobená využitím standartních křemíkových technologií a je kontaktována k čipovému pouzdru. Detekce akustického signálu je založeno na rezonanci membrány, která kmitá při působením mechanických vln s frekvencí se stejnou hodnotou jako vlastní frekvence materiálu membrány v tomto případě SixNy vytvořeného metodou LPCVD.

Keywords

rezonanční membrána, nitrid křemíku

Create date

08.12.2014

Location

Laboratoř 0.66 UMEL, VUT, Technická 10, Brno

www

Documents