Product detail

Plazmový detektor bublin v ovrstvení

BURŠÍK, M. ŘEZNÍČEK, M. JANKOVSKÝ, J. MUSIL, V.

Product type

funkční vzorek

Abstract

Jedná se o detektor umožňující identifikovat porušení povrchové izolační vrstvy elektrody s využitím výboje. Ovrstvená elektroda je testována z hlediska homogenity ovrstvení a plazmový detektor dokáže opticky i signálově poruchu vrstvy detekovat.

Keywords

Plazma, homogenity, ovrstvení, chyby, detektor

Create date

07.08.2014

Location

Technická 3058/10, Laboratoř 0.63