Project detail

MEMS ESO - MEMS sensory s optickým snímáním

Duration: 01.01.2018 — 31.12.2021

On the project

Projekt se zaměřuje na aplikovaný výzkum a experimenální vývoj v oblasti moderních MEMS snímačů pro inerciální navigaci s využitím pokročilých technologií v oblasti výroby vlastního snímacího elementu (MEMS), speciálního elektronického obvodu pro zpracování elektrických signálů (ASIC), tak i systému vyčítání (měření polohy) s využitím optických vláken. V rámci projektu budou dále vyvinuty technologie pro rychlé a precizní laserové obrábění definovaných soustav cylindrických otvorů mikrometrových rozměrů v opticky transparentních materiálech a vývoj interferometrické metody pro měření pohybu MEMS struktur v řádek jednotek nanometrů. Součástí projektu bude i výzkum metod pro podrobnou charakterizaci vlastností navržené MEMS struktury s ohledem na techniku optického vyčítání, realizovaných vláknových vláknových struktur pro optické interferometrické měření polohy a metodika pro měření parametrů kompletního MEMS snímače úhlového zrychlení s optickým vyčítáním. Pro úspěšné dosažení cílů bylo zformováno konsorcium předních českých pracovišť zahrnujicích průmyslové podniky a univerzity. Téma projektu odpovídá jak na potřeby současné dopravy (potřeba přesných, levných a robustních senzorů pro autonomní vozidla), tak i na potřeby průmyslu (potřeba přesného uchycení optických vláken v senzorickém a telekomunikačním průmyslu). Dále je pak adresována i problematika přesného měření malých výchylek.

Keywords
Inerciální senzory, MEMS, integrované obvody, interferometrické metody měření, přesné obrábění optických materiálů

Key words in English
Inertial sensors, MEMS, integrated citcuit, interferometric measurement methods, optical material micromachining

Mark

TH03010205

Default language

Czech

People responsible

Klusáček Stanislav, Ing., Ph.D. - fellow researcher
Havránek Zdeněk, Ing., Ph.D. - principal person responsible

Units

Cybernetics in Material Science
- (2018-01-01 - 2021-12-31)

Funding resources

Technologická agentura ČR - Program na podporu aplikovaného výzkumu a experimentálního vývoje EPSILON (2015-2025)

- part funder (2018-01-19 - 2021-12-31)