Project detail

Výzkum nových mechatronických struktur MEMS využitelných pro měření tlaku (MEMS)

Duration: 15.11.2006 — 01.12.2011

Mark

2A-1TP1/143

Default language

Czech

People responsible

Vrba Radimír, prof. Ing., CSc.
- hlavní řešitel (2006-12-02 - not assigned)

Units

Department of Microelectronics
- (2006-12-02 - not assigned)

Funding resources

Ministerstvo průmyslu a obchodu ČR - Trvalá prosperita
- whole funder (2006-12-02 - not assigned)

Results

HÁZE, J.; VRBA, R.; FUJCIK, L.; FOREJTEK, J.; ZAVORAL, P.; PAVLÍK, M. BandPass Sigma-Delta Modulator for Capacitive Pressure Sensor. In IEEE Intrumentation and Measurement Technology Conference Proceedings. Varsava, Polsko: IEEE Intrumentation and Measurement Society, 2007. p. 18-24. ISBN: 1-4244-0589-0.
Detail

ADÁMEK, M.; ŠTEKOVIČ, M.; SZENDIUCH, I. Thick Film 3-D Electrode Configuration for Electrochemical Applications. In 4TH ELECTRONICS SYSTEM INTEGRATION TECHNOLOGIES CONFERENCE ESTC 2012. 1. Amsterdam: Medicongress, Kloosterstraat 5, B-9960 Assenede, Belgium, 2012. p. 1-6. ISBN: 978-1-4673-4644-3.
Detail

PAVLÍK, M.; VRBA, R.; MAGÁT, M. Capacity to Digital Converter processing interface and logger. In IMAPS CS International Conference 2007 PROCEEDINGS. Brno: Vysoké Učení Technické v Brně, 2007. p. 83-86. ISBN: 978-80-214-3470-7.
Detail

FICEK, R.; ELIÁŠ, M.; ZAJÍČKOVÁ, L.; JAŠEK, O.; VRBA, R. Gas Pressure Sensor Based on PECVD Grown Carbon Nanotubes. In MRS Proceedings Volume 1018E. San Francisco: Material Research Society, 2007. p. 1 ( p.)
Detail

Richard Ficek, Radimír Vrba, Bo-Hyun Kim, Stephen M. Goodnick, Srdjan Milicic, Zuzana Kučerová, Lenka Zajíčková, Marek Eliáš. Carbon nanotubes synthesized by plasma enhanced CVD: Preparation for measurements of their electrical properties for application in pressure sensor. In ISCIT 2006 PROCEEDINGS OF INTERNATIONAL SYMPOSIUM ON COMMUNICATIONS AND INFORMATION TECHNOLOGIES 2006. Bangkok: IEEE, 2006. p. F1C-3 ( p.)ISBN: 0-7803-9741-X.
Detail

KUCHTA, R.; VRBA, R. Analog Values Data Logger with Wireless and Wired Communication Interface and RFID features. In Elecrtonic Devices and Systems proceedings. Boston: Springer, 2007. s. 660-668. ISBN: 978-80-214-3470-7.
Detail

FICEK, R.; VRBA, R.; JAŠEK, O.; ELIÁŠ, M.; ZAJÍČKOVÁ, L. Carbon nanotubes in pressure sensors. In EDS 07 IMAPS CS INTERNATIONAL CONFERENCE PROCEEDING. Brno: Ing. Zdeněk Novotný CSc., Brno, Ondráčkova 105, 2007. p. 178-182. ISBN: 978-80-214-3470-7.
Detail

FICEK, R.; VRBA, R. Micro-Electro-Mechanical Systems (MEMS). In Moderní metody řešení, návrhu a aplikace elektronických obvodů. Brno: Ing. Zdeněk Novotný, CSc., Brno, Ondráčkova 105, 2007. p. 48-51. ISBN: 978-80-214-3535-3.
Detail

HÁZE, J.; VRBA, R.; PROKOP, R. Design of Phase Locked-Loop for Very Slow Sine-Wave Signals. In Proceedings of IEEE International Conference on Systems ICONS 2008. Cancun: IEEE, 2008. p. 67-71. ISBN: 978-0-7695-3105-2.
Detail

HÁZE, J.; VRBA, R.; PAVLÍK, M. The integrated unit for MEMS based pressure measurement. In Proceedings of ICONS 2009 Fourth International Conference on Systems. France: IEEE, 2009. p. 100-103. ISBN: 978-1-4244-3469-5.
Detail

PEKÁREK, J.; VRBA, R.; FICEK, R. Deposition of Carbon Nanotubes in Microwave Torch at Atmospheric Pressure. In Electronic Devices and Systems EDS'08 IMAPS CS International Conference 2008. Brno: Ing. Zdeněk Novotný, CSc., 2008. p. 566-569. ISBN: 978-80-214-3717-3.
Detail

PEKÁREK, J.; VRBA, R.; FICEK, R.; MAGÁT, M. Nové trendy v přípravě uhlíkových nanotrubic. In Sborník příspěvků konference KRÁLÍKY 2009. Brno, Česká republika: Vysoké učení technické v Brně, 2009. s. 206-209. ISBN: 978-80-214-3938-2.
Detail

PEKÁREK, J.; VRBA, R.; FICEK, R.; MAGÁT, M. Electrodes Modified by Carbon Nanotubes for Pressure Measuring. In ISSE 2009 32nd International Spring Seminar on Electronics Technology. 2009. Brno, Česká republika: Novpress s.r.o., 2009. p. 1-5. ISBN: 978-1-4244-4260-7.
Detail

PEKÁREK, J.; VRBA, R.; FICEK, R.; MAGÁT, M. Experimental study of MEMS capacitive sensor. In EDS'09 IMAPS CS International Conference Proceedings. Brno: Vysoké učení technické v Brně, Antonínská 548/1, 2009. p. 205-209. ISBN: 978-80-214-3933-7.
Detail

PEKÁREK, J.; VRBA, R.; FICEK, R.; MAGÁT, M. Carbon nanostructures used in capacitive sensors as the surface increase element. In SIITME 2009, 15th International Symposium for Design and Technology of Electronics Packages, Conference Proceedings. 1. Budapest: Budapest University of Technology and Economics, Budapest, Hungary, 2009. p. 323-326. ISBN: 978-1-4244-5132-6.
Detail

PEKÁREK, J.; VRBA, R.; MAGÁT, M. Anodic bonding process in MEMS applications. In Proceedings of 8th international conference KRÁLÍKY 2010. Tiskárna Atom, Ltd. Chuchelna 254, Semily: Brno University of Technology, Faculty of Electrical Engineering and Communication, 2010. p. 103-105. ISBN: 978-80-214-4139-2.
Detail

HÁZE, J.; PEKÁREK, J.; VRBA, R. Laboratorní zařízení pro anodické pájení. In Mikrosyn. Nové trendy v mikroelektonických systémech a nanotechnologiích. Brno: NOVPRESS Brno, 2010. s. 6-9. ISBN: 978-80-214-4229-0.
Detail

PEKÁREK, J.; VRBA, R.; MAGÁT, M.; JAŠEK, O. Preparation of freestanding carbon nanotubes using plasma enhanced chemical vapor deposition. In ISSE 2011, 34th International Spring Seminar on Electronics Technology, Conference Proceedings. 1. Košice: Technical University of Košice, 2011. p. 515-518. ISBN: 978-1-4577-2112-0.
Detail

HÁZE, J.; VRBA, R.; PAVLÍK, M.; PEKÁREK, J. A Novel Laboratory Anodic Bonding Device for MEMS Applications. ElectroScope - http://www.electroscope.zcu.cz, 2010, vol. 2010, no. 3, p. 24-26. ISSN: 1802-4564.
Detail

PAVLÍK, M.; MAGÁT, M.; ZAPLETAL, P. Evaluation of the delta-sigma modulator coefficients by genetic algorithm. ElectroScope - http://www.electroscope.zcu.cz, 2010, vol. 2010, no. 3, p. 1-5. ISSN: 1802-4564.
Detail

VRBA, R., FICEK, R. Nové metody a struktury k použití MEMS a nanotechnologií využitelné při měření tlaku. 1. Buchlovice: MPO ČR, 2006. s. 0 ( s.)
Detail

HÁZE, J.; VRBA, R.; FICEK, R.; PAVLÍK, M.; MAGÁT, M. Výzkum nových mechatronických struktur MEMS využitelných pro měření tlaku - výzkumná zpráva k řešení projektu výzkumu a vývoje. 1. 2007. s. 1-44.
Detail

HÁZE, J. MOŽNOSTI VYUŽITÍ OBVODŮ PRO ZPRACOVÁNÍ SIGNÁLŮ V APLIKACÍCH SE SENZORY TLAKU. Brno: VUT Brno, 2009.
Detail

FICEK, R.; VRBA, R. Carbon Nanotubes Applicated in Pressure Measurement. In Proceedings of the 13th Conference STUDENT EEICT 2007. Brno: Vysoké učení technické v Brně, Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií a Fakulta informačních technologií, 2007. p. 295 ( p.)ISBN: 978-80-214-3410-3.
Detail

ADÁMEK, M.; SCHNEDERLE, P.; SZENDIUCH, I.; LIPAVSKÝ, L. The Properties Comparison of Solder Joints on Ceramic and FR-4 Substrates. In 4TH ELECTRONICS SYSTEM INTEGRATION TECHNOLOGIES CONFERENCE ESTC 2012. 1. Amsterdam, NL: Medicongress, Kloosterstraat 5, B-9960 Assenede, Belgium, 2012. p. 1-5. ISBN: 978-1-4673-4644-3.
Detail

BURŠÍK, M.; SZENDIUCH, I.; JANKOVSKÝ, J. Dispensing process with additional ultrasonic energy. In Proceedings of 18th European microelectronics packaging conference EMPC 2011. Brighton, UK: IMAPS-Europe, 2011. p. 476-479. ISBN: 978-0-9568086-0-8.
Detail

PAVLÍK, M.; HÁZE, J.; KLEDROWETZ, V. Design of the 12bits Delta-Sigma Modulator using SC Technique. Radioengineering, 2012, vol. 21, no. 1, p. 246-252. ISSN: 1210-2512.
Detail

HÁZE, J.; PEKÁREK, J.; MAGÁT, M.; PAVLÍK, M.; VRBA, R. Design, modeling and fabrication of novel MEMS structure utilizing carbon nanotubes. In Proceedings of 18th European microelectronics packaging conference EMPC 2011. Brighton: 2011. p. 79-83. ISBN: 978-0-9568086-0-8.
Detail

PEKÁREK, J.; VRBA, R.; MAGÁT, M.; PAVLÍK, M.; HÁZE, J. Testing of Novel Device for Anodic Bonding process in MEMS Application. Electronics, 2011, vol. 5, no. 2, p. 180-182. ISSN: 1313-1842.
Detail

PEKÁREK, J.; VRBA, R.; MAGÁT, M.; KULHA, P. Possible Applications of Freestanding Carbon Nanotubes in MEMS Technology. In NANOCON 2011 - Conference Proceedings. 1. Ostrava: Tanger Ltd., 2011. p. 491-495. ISBN: 978-80-87294-27-7.
Detail

PEKÁREK, J.; VRBA, R.; CHOMOUCKÁ, J.; DRBOHLAVOVÁ, J.; BUŠINOVÁ, P.; PRÁŠEK, J.; MAGÁT, M.; HRDÝ, R.; HUBÁLEK, J. Příprava samostatně stojících nanotrubic metodou plasmochemické depozice z plynné fáze. In Odborný seminář organizovaný International Microelectronics and Packaging Society. Sborník příspěvků. Brno: NOVPRESS s.r.o., 2011. s. 32-33. ISBN: 978-80-214-4404-1.
Detail

PEKÁREK, J.; PAVLÍK, M.; VLACH, R.; VRBA, R.; MAGÁT, M.; HÁZE, J.; MAREČEK, K.; Vysoké učení technické v Brně, Brno, CZ , BD SENSORS, s. r. o., Buchlovice, CZ: Zařízení pro anodické pájení. 22520, užitný vzor. Praha (2011)
Detail

PAVLÍK, M.; MAGÁT, M.; PEKÁREK, J.; HÁZE, J.; VRBA, R.: ABoD Driver; ABoD Driver. T10 - N.6.36. URL: http://www.umel.feec.vutbr.cz/vyzkum/vysledky/software/. (software)
Detail

HÁZE, J.; PAVLÍK, M.; PEKÁREK, J.; VRBA, R.; VLACH, R.; MAGÁT, M.: ABoD; Zařízení pro anodické pájení. Technická 10 - 0.67. (prototyp)
Detail

PAVLÍK, M.; HÁZE, J.: NEMS Datalog; Prototyp měřicího zařízení pro měření chování senzoru tlaku založeného na strukturách NEMS. U4 - 217. (prototyp)
Detail