Detail předmětu

Student se seznámí se základními i pokročilými metodami a technikami vytváření mikrostruktur a polovodičových součástek, s materiály, pravidly pro jejich realizaci a moderními nanotechnologiemi v polovodičovém průmyslu.

Přehled metod a technik v tenkovrstvé a polovodičové technologii, schopnost návrhu miktrostruktur a nanostruktur za využití pokročilých technik výroby.

není

Předmět je zaměřen na studium mikroelektronických technologií formou seminářů a samostudia. Student získá přehled o základních a pokročilých metodách a technikách, využítí materiálů a pravidlech vytváření mikrostruktur. Bude se umět orientovat v oblasti návrhu a výroby včetně využítí nanotechnologií v mikroelektronice.

Metody vyučování závisejí na způsobu výuky a jsou popsány článkem 7 Studijního a zkušebního řádu VUT.

ústní zkouška

Základní metody nanášení tenkých vrstev, materiály využívané v tenkovrstvé technologii, vytváření topografie, litografie, anizotropní a isotropní leptání mikrostruktur, termická a chemická oxidace, anodizace, difúze příměsí, pasivační vrstvy, moderní metody vytváření mikrostruktur, MEMS, nanotechnologie a nanoelektronika, NEMS.

H.O. Pierson, Handbook of Chemical Vapor Deposition. William Andrew Publishing, LLC Norwish, NY, USA, 1999, ISBN 0-8155-1432-8
S. Sivaram, Chemical Vapor Deposition. International Thomson Publishing Inc., 1995, ISBN 0-442-01079-6
M.A. Reed and T. Lee, Molecular Nanoelectronics. American Scientific Publisher, 2003, ISBN 1-58883-006-3
MEMS and Nanotechnology Clearinghouse, http://www.memsnet.org
Courtesy Sandia National Laboratories, SUMMiTTM Technologies, www.mems.sandia.gov
Michael Kraft: Micromachined Inertial Sensors Recent Developments at BSAC, prezentace, Berkeley Sensor &Actuator Center, California,USA
C.T. Leondes, MEMS/NEMS Handbook: Techniques and Applications, Vol. 1-5. Springer Science, 2006
H.S. Nalez, Handbook of Organic-Inorganic Hybrid Materials and Nanocoposities, Vol. 1-2, American Scientific Publisher, 2003.
TJ. Coutts, Active and Passive Thin Film Device. Academic Press, London 1978, pp.1-858