Detail oboru

Fyzikální a materiálové inženýrství

FSIZkratka: D-FMIAk. rok: 2015/2016Zaměření: Fyzikální inženýrství

Program: Fyzikální a materiálové inženýrství

Délka studia: 4 roky

Akreditace od: Akreditace do: 31.12.2020

Profil

Cílem studia je poskytnout studentům vzdělání a umožnit jim vědecký výzkum v oblastech inženýrská optika, fyzika povrchů, mikromechanika materiálů, strojírenské materiály, fyzikální metalurgie a aplikovaný výzkum keramiky.

Garant

Vypsaná témata doktorského studijního programu

  1. Elektrostatické vychylovací a korekční systémy

    Návrh elektrostatického vychylovacího a korekčního systému. V elektronovou litografii je nutné použít dynamickou fokusaci a dynamické stigmátory pro korekci vad vychylovacího systému pro dosažení optimálního tvaru stopy. Cílem práce je prostudovat možnosti dynamické korekce vad vychýlení a navrhnout optický systém pro litografii. Určit citlivost dynamické fokusace a stigmování pro ELG s Gaussovským svazkem. Ilustrovat na příkladu čoček ELG 600 (objektiv a poslední kondenzor), doplněný o elektrostatický vychylovací systém a jeho porovnání s existujícím magnetickým systémem. Slabá elektrostatická čočka ve zmenšovacím kondenzoru se může použít pro dynamickou fokusaci (posuv křižiště tak, aby po vychýlení byla stopa ostrá). Jaká geometrie je nejvhodnější pro tuto čočku, jaká je její účinnost? Jak funguje dynamický stigmátor a jak ovlivňuje zkreslení vychylovacího systému?

    Školitel: Lencová Bohumila, prof. RNDr., CSc.

  2. Moderní metody pro návrh a určení koeficientů vad elektronově optických systémů

    - maticová metoda výpočtu elektronově optických systémů - započtení vad seřízení a vad pátého řádu - implementace metody diferenciálních algeber pro výpočet koeficientů vad libovolného řádu

    Školitel: Lencová Bohumila, prof. RNDr., CSc.

  3. Vady seřízení elektrostatického vychylovacího systému

    Vychylovací elektrostatický systém sestává zpravidla z 8 elektrod, které jsou přesně vyrobeny a sestaveny, a na ně je přiváděno přesně zvolené napětí. V případě, kdy není geometrie přesná (jedna nebo více elektrod mají nevhodné rozměry a mezery mezi elektrodami nejsou stejné nebo malé) nebo nejsou napětí na elektrodách správná, vychylovací pole se mění. Pokud jsou odchylky malé, započteme je jako přídavná pole fokusační, dipólová, kvadrupólová a hexapólová. Pokud je ale jedna elektroda posunuta nebo nakloněna, bude třeba sáhnout k 3D výpočtům elektrostatického pole. Důležité je také charakterizovat vady optického systému v důsledku těchto dodatečných polí.

    Školitel: Lencová Bohumila, prof. RNDr., CSc.

  4. Výpočty soustav čoček pro elektronovou optiku

    V elektronové optice při návrhu soustav čoček, ať už rotačně souměrných nebo kvadrupólových, je třeba určit chování dané soustavy a případně ji optimalizovat tak, aby splněny zadané podmínky (dosažení dané polohy obrazu, zvětšení, rotace obrazu v magnetické čočce, velikosti vad a vad v důsledku neseřízení daného optického prvku). Nejprve prozkoumejte chování několika geometrií čoček (ohnisková dálka, vady) v závislosti na jejich buzení a nejvhodnější vyjádření této závislosti vhodné pro interpolaci. Pro složitější systémy s více prvky v soustavě je třeba vypracovat metodiku výpočtu a optimalizace soustav.

    Školitel: Lencová Bohumila, prof. RNDr., CSc.


Struktura předmětů s uvedením ECTS kreditů (studijní plán)

Studijní plán oboru není zatím pro tento rok vygenerován.