| Original Title: |
Výzkumná zpráva k řešení projektu výzkumu a vývoje projektu MPO ČR 2A-1TP1/143 Výzkum nových mechatronických struktur MEMS využitelných pro měření tlaku |
| Czech Title: |
Výzkumná zpráva k řešení projektu výzkumu a vývoje projektu MPO ČR 2A-1TP1/143 Výzkum nových mechatronických struktur MEMS využitelných pro měření tlaku |
| English Title: |
The research report of the MPO project ČR 2A-1TP1/143 Research and development of novel MEMS structures for pressure sensing |
| Author(s): |
HÁZE, J.; FICEK, R.; VRBA, R.; MAGÁT, M.; PEKÁREK, J.; PAVLÍK, M.; MAREČEK, K. |
| Type: |
report |
| Language: |
cs |
| Original Abstract: |
V7zkumná zpráva projektu Výzkum nových mechatronických struktur MEMS využitelných pro měření tlaku |
| Czech abstract: |
V7zkumná zpráva projektu Výzkum nových mechatronických struktur MEMS využitelných pro měření tlaku |
| English abstract: |
The research report of the project Research and development of novel MEMS structures for pressure sensing |
| Keywords: |
MEMS, pressure sensors |
| Released: |
23.12.2008 |
| Pages count: |
41 |